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材料知識——蒸發鍍膜
編輯日期:2016-04-12 09:39:46  作者:    閱讀次數:次

1. 什么是蒸發鍍膜

在真空室中,加熱蒸發容器中待形成薄膜的原材料,使其原子或者分子表面從表面氣化逸出,形成蒸汽流,入射到固體(稱為襯底或基片)表面,凝結形成固態薄膜的過程,稱為蒸發鍍膜。


2.蒸發鍍膜的類型

根據蒸發源的不同可以分為三類。①電阻加熱源:用難熔金屬如鎢、鉭制成舟箔或絲狀,通以電流,加熱在它上方的或置于坩堝中的蒸發物質)電阻加熱源主要用于蒸發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。②高頻感應加熱源:用高頻感應電流加熱坩堝和蒸發物質。③電子束加熱源:適用于蒸發溫度較高(不低于2000[618-1])的材料,即用電子束轟擊材料使其蒸發。


 
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